1. 绿碳化硅微粉的特性
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硬度高(莫氏硬度9.2),仅次于金刚石和立方氮化硼(CBN),适合研磨高硬度的氮化铝(硬度约7-8)。
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颗粒锋利,切削力强,可有效去除材料并提高表面平整度。
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化学稳定性好,不与氮化铝发生化学反应,避免污染工件。

2. 研磨工艺参数建议
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粒度选择:
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粗磨(去除加工余量):建议使用#220-#400(粒径约50-20μm)。
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精磨(提高表面质量):推荐#800-#1500(粒径约10-3μm)或更细。
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研磨液:通常以水或油为介质,添加分散剂防止颗粒团聚。
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设备:可采用平面研磨机、双面研磨机或抛光机,配合铸铁/锡研磨盘。
替代磨料对比
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金刚石微粉:硬度最高,寿命长,但成本高,适合超精密加工。
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硼 carbide(B₄C):硬度接近SiC,但价格更高,应用较少。
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氧化铝(Al₂O₃):硬度较低(莫氏9),效率不如SiC,适合软质材料。
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